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微懸臂梁氣敏測試系統

LoC-GSS 1000

微懸臂梁氣敏測試系統，是使用MEMS諧振式微懸臂梁傳感芯片作為敏感元件，研究功能材料氣敏性能的分析工具以及高性能氣敏傳感器的開發與測試平臺。

通過將不同的氣敏材料負載到微懸臂梁傳感芯片上，可以形成多種多樣的質量型氣敏傳感器。當傳感器對目標氣體發生吸附作用時，引起的微小質量改變可以被微懸臂梁氣敏測試系統實時感知和測量，從而實現對目標氣體的定量分析與測試。

由于MEMS諧振式微懸臂梁傳感芯片具有超高的質量檢測靈敏度，因此該儀器可實現對ppb甚至ppt量級氣體的痕量檢測，是研究氣敏材料和氣敏傳感器的新利器。

產品特點

性能參數

指標名稱	參數
型號	LoC-GSS 1000
原理	質量變化實時檢測
質量變化測量元件	MEMS諧振式微懸臂梁傳感芯片
氣敏材料負載量	0 ~ 30 ng（10^-9g）
質量變化分辨率	≤ 0.5 pg（10^-12g）
氣氛控制	可連接動態智能配氣系統（選配）或自行搭建氣路；檢測池全防腐設計；微懸臂梁傳感芯片帶氣氛保護功能，可應用除氟化物外的大部分氣體
測量通道	最大4個
額定功率	30 W
主機尺寸（寬x深x高, cm）	25 x 30 x 15

應用案例

介孔材料

功能化介孔材料作為敏感材料被負載到諧振式微懸臂梁之上。由于介孔材料具有極高的比表面積，通過在其上修飾對TNT特異性敏感的基團，實現了對TNT的痕量快速檢測，檢測下限達到世界先進的ppt量級，同時兼具優秀的選擇性與長時間的使用壽命。
Anal. Chem. 83 (2011) 3448-3454

MOF材料

MOF-74材料被用作制備CO氣體傳感器。通過將MOF-74材料負載到諧振式微懸臂梁之上，實現了對CO氣體檢測下限低至幾個ppb的氣敏傳感器，且該傳感器具備很好的選擇性。
Sensors and Actuators B 262 (2018) 562-569

石墨烯材料

石墨烯衍生物被應用于氣敏測試中，利用 -COOH修飾的AuNPS-rGO為敏感材料，實現了對三甲胺的痕量快速檢測，在兼具選擇性與靈敏度的同時，抗濕度干擾的能力也有了大幅提升。
J Mater. Chem. A 2013, 1, ? 4444-4450

更多代表性成果

Nano Lett. 2021, 21, 1679-1687 Sens. Actuators B 2018, 256, 639-647
Anal. Chem. 2016, 88, 12234-12240 Sens. Actuators B 2015, 209, ? 943-950 Anal. Chem. 2012, 84, 6679-6685 Sens. Actuators B 2014, 202, 846-853 Small 2014, 10, 2404-2412 Analyst 2021, 146, 4042-4048 Analyst 2019, 144, 3729-3735