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真空檢測室，作為安裝微芯片的密封容器，用于為微芯片提供各類測試環境。具有3個氣體接口，用于連接進出氣管道和真空泵；最高24 pin電連接，用來與安裝在內的微芯片進行通訊；高真空度等級，真空度可達10-4 Pa；石英玻璃光學窗口，可以對其內的微芯片進行光學觀測；316不銹鋼或者鋁合金材質，可按需選擇。